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1.通过控制面板设定和观察气化模块升温温度;
2.储罐中的去离子水,通过恒流泵加入精密蒸发器中,去离子水得流量连续可调;
3.精密蒸发器将液态水99%蒸发,并且保证蒸汽流量波动小于2%;
4.过热蒸汽通过SUS316L管道通入流量控制器(选配)中,将高温水蒸气稳定输送到位置。
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型号 SG-01A SG-05A SG-10A SG-50A
流量范围(可调) 0.5uL/min-1000uL/min 1mL/min-5mL/min 1mL/min-10mL/min 5mL/min-50mL/min
工作电压 220V AC 220V AC 220V AC 220V AC
精度 ±1%
出口温度 120℃-300℃(可按要求定制过热蒸汽850℃)
压力 常压(可按要求定制)
寿命 ≥5年
响应时间 5秒
功率 300瓦(依据汽化量变化)
使用寿命 ≥5年
外形尺寸(可定制) 240*320*240mm(依据汽化量变化)
恒流双柱塞泵(可选蠕动泵、注射泵、双柱塞泵)
每微步注射量 0.13uL
线速度范围 4.69u1/min-270.00m1/min
流量范围 0.0001uL/min-158.909m1/min
线性推力 >3kgf
控制精度 控制精度 当>30%满行程时,控制误差≤±0.5%
重复精度 ≤±0.3%
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