活性试验水蒸气发生器分为小试装置和大中试装置。小试装置主要作为实验室设备使用，其液体水流量达10-80g/min。大中试装置流量大，主要应用于量产，其液体水流量达12-48kg/h。

实验室蒸汽发生器通过精密计量泵控制进液量，经相变汽化模块将液分散成液膜再换热转化成水蒸气，稳定地将一路液体蒸发。自主研发的相变汽化模块优势：蒸发混合稳定并有非常宽的蒸发范围。

多孔碳用水蒸气发生器通过精密计量泵精准控制进液量，通过精密相变汽化模块将液体先分散成液膜再进行换热转化成水蒸气，水蒸气通过高温耐腐蚀预热器将水蒸气的温度升至100℃-800℃，可以稳定地将一路液体蒸发。

气氛炉水蒸气发生器出口温度可调节范围广，100~1000℃，蒸气流量精度高，可达±1%，蒸气气态流量可从1mL/min~1000L/min可选，液态水蒸发量可从0.5uL/min~1000mL/min可选。

半导体行业专用水蒸气发生器通过精密计量泵控制进液量，经相变汽化模块将液分散成液膜再换热转化成水蒸气，稳定地将一路液体蒸发。自主研发的相变汽化模块优势：蒸发混合稳定并有非常宽的蒸发范围。

水蒸气发生器连接回转炉出口温度可调节范围广，100~1000℃，蒸气流量精度高，可达±1%，蒸气气态流量可从1mL/min~1000L/min可选，液态水蒸发量可从0.5uL/min~1000mL/min可选。