HG-4010湿度发生器亿科利用高精度恒流泵定量供给液体水，通过控制液态水相变，气态水蒸气与干路载气混合形成恒定浓度的湿气,再通过恒定温度控制形成不同温度下的相对或绝对湿气。

湿度发生器利用高精度计量泵定量供给液体水，通过控制液态水相变，气态水蒸气与干路载气混合形成恒定浓度的湿气,再通过恒定温度控制形成不同温度下的相对或绝对湿气。

标准温湿度发生器针对大温度范围（室温-95℃）、大湿度范围（0-95%RH）、快速响应（10秒级）、稳定输出含湿气体需求而专门开发的一款温湿度发生器。它采用双温双压来发生湿度，但是在饱和器、分流控制算法、湿度和热补偿等方面进行了重要改进。

小型湿度发生器通过改变比例阀通径改变高压或低压压力而得到不同湿度的恒湿气源。根据道尔顿分压定律，先使气体在稳定的高压状态下饱和，然后在相同的温度下降压，至稳定的低压状态，即可得到恒湿气源，其湿度值可根据饱和室温度高压压力和低压压力而准确测定。

晶圆CVD专用湿度发生器是一款兼具便携式结构与高精度计量性能的温湿度校准仪器，能够满足各类温湿度传感器、温湿度变送器及小型温湿度仪表等常规温湿度测量仪表的计量校准需求。

半导体测试专用湿度发生器采用质量流量计控制高精度高温耐压管路及接头，超低泄露率。系统整体耐压超2Mpa，出口压力波动小，小于±10pa，配置防爆型发生模块。