![](http://img54.chem17.com/gxhpic_e731504fc8/5eceadd4559dcfd2f2e26cc9569c6d4789e92e9e8cbf8f8b08dbf8116acf81ccdc8a0f2decdf9d4b.jpg)
使用条件
使用环境:0~50℃ ,0~80%RH
进气要求:压力>0.1Mpa(无杂质)
进水要求:蒸馏水或去离子水(超纯水)
![](https://img48.chem17.com/gxhpic_e731504fc8/5eceadd4559dcfd2f2e26cc9569c6d4789e92e9e8cbf8f8b4fd028bdacdeb846acd4e9b3dfc4093e.jpg)
![](https://img50.chem17.com/gxhpic_e731504fc8/5eceadd4559dcfd2f2e26cc9569c6d4789e92e9e8cbf8f8bcf68d920547ba3d15903fbead33e35ff.jpg)
型号 SG-01A SG-05A SG-10A SG-50A
流量范围(可调) 0.5uL/min-1000uL/min 1mL/min-5mL/min 1mL/min-10mL/min 5mL/min-50mL/min
工作电压 220V AC 220V AC 220V AC 220V AC
精度 ±1%
出口温度 120℃-300℃(可按要求定制过热蒸汽850℃)
压力 常压(可按要求定制)
寿命 ≥5年
响应时间 5秒
功率 300瓦(依据汽化量变化)
使用寿命 ≥5年
外形尺寸(可定制) 240*320*240mm(依据汽化量变化)
恒流双柱塞泵(可选蠕动泵、注射泵、双柱塞泵)
每微步注射量 0.13uL
线速度范围 4.69u1/min-270.00m1/min
流量范围 0.0001uL/min-158.909m1/min
线性推力 >3kgf
控制精度 控制精度 当>30%满行程时,控制误差≤±0.5%
重复精度 ≤±0.3%
![](https://img44.chem17.com/gxhpic_e731504fc8/5eceadd4559dcfd2f2e26cc9569c6d4789e92e9e8cbf8f8b525fb861c76c9ed1bbe01fce810efd38.jpg)
![](https://img44.chem17.com/gxhpic_e731504fc8/5eceadd4559dcfd2f2e26cc9569c6d4789e92e9e8cbf8f8b912eb843a9079c4fe2ad8d74a82ca13d.jpg)
型号 SG-01A SG-05A SG-10A SG-50A
流量范围(可调) 0.5uL/min-1000uL/min 1mL/min-5mL/min 1mL/min-10mL/min 5mL/min-50mL/min
工作电压 220V AC 220V AC 220V AC 220V AC
精度 ±1%
出口温度 120℃-300℃(可按要求定制过热蒸汽850℃)
压力 常压(可按要求定制)
寿命 ≥5年
响应时间 5秒
功率 300瓦(依据汽化量变化)
使用寿命 ≥5年
外形尺寸(可定制) 240*320*240mm(依据汽化量变化)
恒流双柱塞泵(可选蠕动泵、注射泵、双柱塞泵)
每微步注射量 0.13uL
线速度范围 4.69u1/min-270.00m1/min
流量范围 0.0001uL/min-158.909m1/min
线性推力 >3kgf
控制精度 控制精度 当>30%满行程时,控制误差≤±0.5%
重复精度 ≤±0.3%
五、原理图