晶圆CVD专用湿度发生器

晶圆CVD专用湿度发生器是一款兼具便携式结构与高精度计量性能的温湿度校准仪器，能够满足各类温湿度传感器、温湿度变送器及小型温湿度仪表等常规温湿度测量仪表的计量校准需求。

技术优势

• 实验室和便携就地校准

可以更加快捷、简便的校准湿度测量仪器、探头以及湿度数据记录仪，成为实验室和便携的校准方案。

• 更大的测量腔室
  

采用更大的测量腔室设计，舱门可以容纳更多的传感器或探头同时测量。标准情况下可容纳4-5只探头同时测量，也可容纳体积较大的无探头湿度变送器或湿度记录仪放置在腔室内测量。

• 较宽的工作范围

拥有独立温度和湿度发生器，热伺服系统可在5~50℃内提供稳定温度(20°C环境温度下)。干燥和加湿系统可以保障相对湿度快速稳定在5~95 %RH之间。

产品特点

测试腔容积达同类产品的3-5倍，为校准作业提供高效的环境支撑。

测试腔可容纳各种类型的投入式冷镜面露点仪探头，便于展开比对校准工作。

采用组合式传感器插孔设计，可适配不同直径规格的温湿度传感器及变送器。

测量室配备透明窗口及照明装置，便于各类小型温湿度表的读数操作。

支持同时对4-5支小型温湿度探头实施校准。

支持同时对3-5块常规尺寸数字温湿度表实施校准。

测试腔在 5°C-50°C全量程范围内，温度均匀性优于0.1°℃。

双区域干燥筒可同时支持分子筛和变色硅胶两种干燥剂。

具备直观的液位显示与干燥器状态指示功能，便于工作状态的实时监控。

配置 4 通道外部标准信号输入功能，支持(0-5)V和(4-20)mA 标准信号接入仪器。

内置湿度换算软件，方便用户进行相对湿度、温度和露点温度换算。

支持温湿度曲线显示，方便用户查看温湿度状态趋势。

搭载7寸彩色液晶触摸屏，支持RS485等多种通信接口。