计量校准用湿度发生器兼具便携式结构与高精度计量性能的温湿度校准仪器，能够满足各类温湿度传感器、温湿度变送器及小型温湿度仪表等常规温湿度测量仪表的计量校准需求。

温湿度发生器 精密实验室设备高精度高温耐压管路及接头，超低泄露率。系统整体耐压超2Mpa，出口压力波动小，小于±10pa，配置防爆型发生模块。

标准温湿度发生器高精度高温耐压管路及接头，超低泄露率。系统整体耐压超2Mpa，出口压力波动小，小于±10pa，配置防爆型发生模块。

低露点发生器在一定条件下能发生水蒸气含量稳定且可知的气流或气氛的装置的总称，可以在相对湿度为2-95%的范围内控制。同时可以实现气体流量，温度的精确控制。自主研发的可蒸发相变技术，可以提供成分浓度稳定（波动小于1%）且可以连续调控的所需气体。

小型湿度发生器通过改变比例阀通径改变高压或低压压力而得到不同湿度的恒湿气源。根据道尔顿分压定律，先使气体在稳定的高压状态下饱和，然后在相同的温度下降压，至稳定的低压状态，即可得到恒湿气源，其湿度值可根据饱和室温度高压压力和低压压力而准确测定。

晶圆CVD专用湿度发生器是一款兼具便携式结构与高精度计量性能的温湿度校准仪器，能够满足各类温湿度传感器、温湿度变送器及小型温湿度仪表等常规温湿度测量仪表的计量校准需求。