蒸汽发生器 蒸汽消融用通过精密计量泵精准控制进液量，通过精密相变汽化模块将液体先分散成液膜再进行换热转化成水蒸气，水蒸气通过高温耐腐蚀预热器将水蒸气的温度升至100℃-800℃，可以稳定地将一路液体蒸发。

超薄型水蒸气发生器整机厚度仅25cm，在保持大流量输出的同时，实现优异的集成适配性与散热表现，为科研实验、精密制造、新材料研发等领域提供更紧凑、稳定、高效的蒸汽方案。

蒸汽发生器精密电子制造用分为小试装置和大中试装置。小试装置主要作为实验室设备使用，其液体水流量达10-80g/min。大中试装置流量大，主要应用于量产，其液体水流量达12-48kg/h。

小型水蒸汽发生器采用一体压铸微通道汽化器，微通道结构换热效果更快,能快速补充相变所需热量，液体进入通道能快速形成纳米液膜气化波动小。

小型蒸汽发生器 材料改性用采用特殊算法，精确控制汽化进口的水流量和汽化过程中功率、液位、压力、温度等 最终达到对出口蒸汽的调节。精密控制精度，蒸发量大范围精准可调。

水蒸气发生器金属氧化处理用出口温度可调节范围广，100~1000℃，蒸气流量精度高，可达±1%，蒸气气态流量可从1mL/min~1000L/min可选，液态水蒸发量可从0.5uL/min~1000mL/min可选。